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室温纳米精度位移台-attoECS

  • 主要特点
  • 技术指标

室温纳米精度位移台-attoECS

德国attocube公司是世界上著名的极端环境纳米精度位移器制造商,其生产的位移器以稳定而优异的性能,原子级定位精度,纳米位移步长和厘米级位移范围受到科学家的肯定和赞誉。

attoECS系列纳米位移台在提供极高精度位移控制的同时,保证了优异而极高的稳定性能,适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,最小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能。

attoECS位移台应用领域

加速器及同步辐射

计量测量学

半导体

空间科学

attoECS位移台特点

+ 在厘米级的行程范围内,达到纳米级高精度位移控制

+ 极高的机械稳定性

+ 位移驱动电压<45V,无需高压屏蔽

+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重复性,<0.01% 绝对精度

+ 特殊材质,兼容各种光学实验环境和超高真空环境

+ 快速样品更换装置

ECS系列纳米位移台

ECS系列线性位移器采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,典型单步位移步长为: 50nm。位移范围最大为:50mm。位移器尺寸最小为:30X30 mm。负载最大24Kg。

线性纳米精度位移台

型号

尺寸mm3
(长宽高)

步长

行程(mm)

载重(N)

ECSx3030

30x30; 9.5

50nm

20

90

ECSx3030/NUM

ECSx3040

30x40; 9.5

50nm

25

120

ECSx3040/NUM

ECSx3050

30x50; 9.5

50nm

30

150

ECSx3050/NUM

ECSx3060

30x60; 9.5

50nm

35

180

ECSx3060/NUM

ECSx3070

30x70; 9.5

50nm

40

210

ECSx3070/NUM

ECSx3080

30x80; 9.5

50nm

50

240

ECSx3080/NUM

ECSx5050

50x50; 9.5

50nm

30

150

ECSx5050/NUM

ECSxy5050

50x50; 16.4

50nm

25x25

150

ECSxy5050/NUM

ECSz5050

50x50; 32

30nm

8

8

ECSz5050/NUM

ECR系列旋转台

ECR系列旋转台技术参数表

ECR系列旋转器采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,

典型步长为: 0.4m°。可360度连续旋转。

旋转台尺寸最小为:30 mm × 30 mm。负载最大2Kg。

高精度旋转台

型号

尺寸mm3
(长宽高)

步长

行程

载重(N)

ECR3030

30x30; 13.5

0.4m°

360度
(连续旋转)

20

ECR3030/NUM

ECR4040

40x40; 14.5

0.2m°

360度
(连续旋转)

20

ECR4040/NUM

ECR5050hs

50x50; 13.5

0.2m°

360度
(连续旋转)

20

ECR5050hs/NUM

ECG系列倾角台

ECG系列倾角台技术参数表
ECG系列倾角台采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,典型步长为: 0.4m°。
倾角范围:10°。倾角台尺寸为:50 mm × 50 mm。负载最大1000g。

高精度倾角台

型号

尺寸mm3
(长宽高)

步长

行程

载重(N)

ECGt5050

50x50; 17

0.1m°

10°

10

ECGt5050/NUM

ECGp5050

50x50; 17

0.1m°

10°

10

ECGp5050/NUM