室温纳米精度位移台-attoECS
德国attocube公司是世界上著名的极端环境纳米精度位移器制造商,其生产的位移器以稳定而优异的性能,原子级定位精度,纳米位移步长和厘米级位移范围受到科学家的肯定和赞誉。
attoECS系列纳米位移台在提供极高精度位移控制的同时,保证了优异而极高的稳定性能,适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,最小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能。
attoECS位移台应用领域
attoECS位移台特点
+ 在厘米级的行程范围内,达到纳米级高精度位移控制
+ 极高的机械稳定性
+ 位移驱动电压<45V,无需高压屏蔽
+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重复性,<0.01% 绝对精度
+ 特殊材质,兼容各种光学实验环境和超高真空环境
+ 快速样品更换装置
ECS系列纳米位移台
ECS系列线性位移器采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,典型单步位移步长为: 50nm。位移范围最大为:50mm。位移器尺寸最小为:30X30 mm。负载最大24Kg。
线性纳米精度位移台 |
型号 | 尺寸mm3 (长宽高) | 步长 | 行程(mm) | 载重(N) |
|
ECSx3030 | 30x30; 9.5 | 50nm | 20 | 90 |
ECSx3030/NUM |
ECSx3040 | 30x40; 9.5 | 50nm | 25 | 120 |
ECSx3040/NUM |
ECSx3050 | 30x50; 9.5 | 50nm | 30 | 150 |
ECSx3050/NUM |
ECSx3060 | 30x60; 9.5 | 50nm | 35 | 180 |
ECSx3060/NUM |
ECSx3070 | 30x70; 9.5 | 50nm | 40 | 210 |
ECSx3070/NUM |
ECSx3080 | 30x80; 9.5 | 50nm | 50 | 240 |
ECSx3080/NUM |
ECSx5050 | 50x50; 9.5 | 50nm | 30 | 150 |
ECSx5050/NUM |
ECSxy5050 | 50x50; 16.4 | 50nm | 25x25 | 150 |
ECSxy5050/NUM |
ECSz5050 | 50x50; 32 | 30nm | 8 | 8 |
ECSz5050/NUM |
ECR系列旋转台
ECR系列旋转台技术参数表
ECR系列旋转器采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,
典型步长为: 0.4m°。可360度连续旋转。
旋转台尺寸最小为:30 mm × 30 mm。负载最大2Kg。
高精度旋转台 |
型号 | 尺寸mm3 (长宽高) | 步长 | 行程 | 载重(N) |
|
ECR3030 | 30x30; 13.5 | 0.4m° | 360度 (连续旋转) | 20 |
ECR3030/NUM |
ECR4040 | 40x40; 14.5 | 0.2m° | 360度 (连续旋转) | 20 |
ECR4040/NUM |
ECR5050hs | 50x50; 13.5 | 0.2m° | 360度 (连续旋转) | 20 |
ECR5050hs/NUM |
ECG系列倾角台
ECG系列倾角台技术参数表
ECG系列倾角台采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,典型步长为: 0.4m°。
倾角范围:10°。倾角台尺寸为:50 mm × 50 mm。负载最大1000g。
高精度倾角台 |
型号 | 尺寸mm3 (长宽高) | 步长 | 行程 | 载重(N) |
|
ECGt5050 | 50x50; 17 | 0.1m° | 10° | 10 |
ECGt5050/NUM |
ECGp5050 | 50x50; 17 | 0.1m° | 10° | 10 |
ECGp5050/NUM |